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武漢珺瑜測控技術(shù)有限公司
RT150S高精度氣浮轉(zhuǎn)臺

RT150S高精度氣浮轉(zhuǎn)臺

產(chǎn)地:比利時

? 直徑150mm  

? 負(fù)載43kg  

? 角精度≤±6.9arcsec

? 端跳<100nm

? 徑跳<50nm

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產(chǎn)地:比利時

? 直徑150mm  

? 負(fù)載43kg  

? 角精度≤±6.9arcsec

? 端跳<100nm

? 徑跳<50nm

RT150S中檔旋轉(zhuǎn)平臺具有出色的承載能力和低誤差運動性能。臺面直徑150mm,軸向負(fù)載43.4Kg,端跳<100nm,徑跳小于50nm,同時具有超高的速度穩(wěn)定性。低高度和大通孔使該旋轉(zhuǎn)平臺成為所有測量和檢測任務(wù)的全方位解決方案。RT-S系列的低調(diào)設(shè)計包含頂級空氣軸承,電機和編碼器,可實現(xiàn)出色的角度定位和速度穩(wěn)定性。大通孔便于滑環(huán)集成,光學(xué)或其他饋通。

應(yīng)用領(lǐng)域:
?    計算機斷層掃描
?    X-射線
?    超精密加工
?    激光加工
?    光學(xué)檢查
?    半導(dǎo)體應(yīng)用
?    醫(yī)療行業(yè)的測試系統(tǒng)
?    用于尺寸測量系統(tǒng)的運動軸
?    慣性導(dǎo)航
?    精密重力測量

產(chǎn)品規(guī)格

Rotary Stage RT150S
Max. axial load 最大軸負(fù)載 43.4 Kg
Max. radial load 最大側(cè)向負(fù)載 22.6 Kg
Axial stiffness 軸剛性 217 N/μm
Radial stiffness 側(cè)向剛性 113 N/μm
Tilt stiffness 搖擺剛性 455 Nm/mrad
Radial error motion 端跳誤差 < 100 nm LSC
Axial error motion 軸誤差 < 50 nm LSC
Resolution分辨率 <0.1arcsec,取決于細(xì)分比(4× ~ 20000×)
Repeatability重復(fù)精度 <0.5 arcsec 或者2倍分辨率
Air consumption 耗氣量 < 10 Nl/min
Total mass 重量 4,0 kg
Encoder 編碼器 23600 periods
Nominal torque 標(biāo)稱扭矩 0,45 Nm
Peak torque 峰值扭矩 1,35 Nm
Max. speed 最大速度 200-800 rpm
Angular accuracy 角精度 6,9 arcsec
Material 材料 coated aluminium


產(chǎn)品圖片

尺寸圖


















































































運動控制

該旋轉(zhuǎn)臺可配備運動驅(qū)動器和軟件。該軟件提供易于編程的定位循環(huán),自動歸位程序以及與機器接口的通信。集成了壓力供應(yīng)失敗時產(chǎn)生安全停止的緊急程序。此外,圖形用戶界面將設(shè)置時間降至最低。