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武漢珺瑜測(cè)控技術(shù)有限公司
RT075S高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

RT075S高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

產(chǎn)地:比利時(shí)

? 直徑75mm  

? 負(fù)載13.7kg  

? 角精度≤±13.8arcsec

? 端跳<100nm

? 徑跳<50nm

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產(chǎn)地:比利時(shí)

? 直徑75mm  

? 負(fù)載13.7kg  

? 角精度≤±13.8arcsec

? 端跳<100nm

? 徑跳<50nm

RT075S可提供所有精度和靈活性,臺(tái)面直徑75mm,負(fù)載13.7kg,端跳<100nm,徑跳<50nm,并以高度微型化的設(shè)計(jì)捕獲該技術(shù)。這款新型旋轉(zhuǎn)平臺(tái)更輕巧,更緊湊。低高度和大通孔使該旋轉(zhuǎn)平臺(tái)成為所有測(cè)量和檢測(cè)任務(wù)的全方位解決方案。RT-S系列的低調(diào)設(shè)計(jì)包含頂級(jí)空氣軸承,電機(jī)和編碼器,可實(shí)現(xiàn)出色的角度定位和速度穩(wěn)定性。大通孔便于滑環(huán)集成,光學(xué)或其他饋通。

應(yīng)用領(lǐng)域:
?    計(jì)算機(jī)斷層掃描
?    X-射線
?    超精密加工
?    激光加工
?    光學(xué)檢查
?    半導(dǎo)體應(yīng)用
?    醫(yī)療行業(yè)的測(cè)試系統(tǒng)
?    用于尺寸測(cè)量系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)軸
?    慣性導(dǎo)航
?    精密重力測(cè)量


產(chǎn)品規(guī)格

Rotary Stage RT075S
Max. axial load 最大軸負(fù)載

13.7 Kg

Max. radial load 最大側(cè)向負(fù)載 5.1 Kg
Axial stiffness 軸剛性 68 N/μm
Radial stiffness 側(cè)向剛性 25 N/μm
Tilt stiffness 搖擺剛性 33 Nm/mrad
Radial error motion 端跳誤差 < 100 nm LSC
Axial error motion 軸誤差 < 50 nm LSC
Resolution分辨率 <0.1arcsec,取決于細(xì)分比(4× ~ 20000×)
Repeatability重復(fù)精度 <0.5 arcsec 或者2倍分辨率
Air consumption 耗氣量 < 4 Nl/min
Total mass 重量 0,6 kg
Encoder 編碼器 11840 periods
Nominal torque 標(biāo)稱(chēng)扭矩 0,04 Nm
Peak torque 峰值扭矩 0,13 Nm
Max. speed 最大速度 300 rpm
Angular accuracy 角精度 13,8 arcsec
Material 材料 coated aluminium

產(chǎn)品圖片











































































































運(yùn)動(dòng)控制

該旋轉(zhuǎn)臺(tái)可配備運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)器和軟件。該軟件提供易于編程的定位循環(huán),自動(dòng)歸位程序以及與機(jī)器接口的通信。集成了壓力供應(yīng)失敗時(shí)產(chǎn)生安全停止的緊急程序。此外,圖形用戶(hù)界面將設(shè)置時(shí)間降至最低。